Vakuum-Meß- und Analysegeräte

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Der heute messbare Druckbereich des Vakuums erstreckt sich von Atmosphärendruck (ca. 1000 mbar) bis 10-12 mbar, also über 15 Zehnerpotenzen. Zur Messung in diesem weiten Druckbereich dienen Messgeräte, die als Vakuummeter bezeichnet werden. Aus physikalischen Gründen ist es nicht möglich, einen Vakuumsensor zu bauen, mit dem man den gesamten Druckbereich quantitativ messen kann. Daher steht eine Reihe von Vakuummetern zur Verfügung, von denen jedes einen charakteristischen Messbereich besitzt, der sich meist über einige Zehnerpotenzen erstreckt.

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Der heute messbare Druckbereich des Vakuums erstreckt sich von Atmosphärendruck (ca. 1000 mbar) bis 10-12 mbar, also über 15 Zehnerpotenzen. Zur Messung in diesem weiten Druckbereich dienen Messgeräte, die als Vakuummeter bezeichnet werden. Aus physikalischen Gründen ist es nicht möglich, einen Vakuumsensor zu bauen, mit dem man den gesamten Druckbereich quantitativ messen kann. Daher steht eine Reihe von Vakuummetern zur Verfügung, von denen jedes einen charakteristischen Messbereich besitzt, der sich meist über einige Zehnerpotenzen erstreckt.

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